domingo, 28 de febrero de 2016

TESIS DE MAESTRIA



CARACTERIZACIÓN ELECTRICA Y OPTICA DE LA DESCARGA LUMINISCENTE DE UN PLASMA DE N2O

Fis. Roberto Pérez Martínez

 

Director de tesis: Dr. Horacio Martínez Valencia


Instituto de Ciencias Físicas, Universidad Nacional Autónoma de México
Cuernavaca, Mor., P.O. Box 48-3, 62251, Cuernavaca, Morelos., México



INDICE


RESUMEN
INTRODUCCIÓN

CAPITULO I  FUNDAMENTO TEÓRICO

1.1  Estados Estacionarios
1.2 Interacción de la radiación con la materia
1.2  Técnica y control de la descarga incandescente

1.3  Física de Plasmas

1.4  Neutralidad eléctrica en un plasma
1.5  Orbitas de partículas y movimiento de desplazamiento en un plasma.


CAPITULO II  SISTEMA EXPERIMENTAL

2.1 Descripción del experimento
2.2 sistema de vacío
2.2.1 Bomba mecánica
2.2.2 Bomba turbomolecular
2.3 Electrodos
2.3.1 Efectos de la distancia de los electrodos
2.4 Efectos de la presión en el plasma
2.5 Sistema eléctrico
2.5.1 Efectos de la naturaleza del gas
2.6 Sistema óptico
2.6.1 Chispa negativa y el espacio oscuro de Faraday
2.6.2 La columna positiva


CAPITULO III  RESULTADOS Y DISCUSIÓN

3.1 Caracterización eléctrica
3.3 Mediciones de emisión de espectro
3.2 Caracterización óptica (Mediciones de emisión de espectro)
3.4 Discusión General

CAPITULO IV

4.1 Conclusiones

APENDICE A

REFERENCIAS












 






RESUMEN


Este trabajo considera la caracterización eléctrica y óptica de la descarga luminiscente de un plasma de N2O, en el modo anormal luminiscente usando espectroscópica óptica.  La corriente de descarga total y el voltaje aplicado son medidos usando técnicas convencionales. La emisión espectroscópica óptica se utilizó para determinar las líneas principales de emisión de la descarga luminiscente del plasma de N2O a presiones entre 0.5 y 4.0 Torr.
Se muestra que el intervalo de emisión de la descarga esta principalmente entre 300 – 400 nm. Las líneas de emisión a 315.98, 337.55, 354.20, 357.24, 380.09 y 391.42 nm correspondientes a las especies NO, O2, y O2+ son las líneas dominantes en la descarga  luminiscente de plasma de N2O.  La intensidad de las líneas de emisión muestran un incremento lineal con la corriente de descarga hasta 0.6 A seguido una saturación a corrientes mayores.
Los objetivos específicos de este proyecto son:
El estudio experimental de caracterización de plasmas. En particular se estudiará el plasma de N2O variando las siguientes condiciones:
i)                La  presión de plasma de 0.5 a 5.0 Torr.
ii)              La temperatura del plasma
iii)            El voltaje aplicado a los electrodos (de 500 a 3000 Volts).

 








INTRODUCCIÓN


El conocimiento de las interacciones de electrón molécula o ión molécula son de vital importancia en muchas áreas de la tecnología moderna [1], por ejemplo en las áreas energéticas, químicas, ingeniería eléctrica, vida y radiación, en las ciencias ambientales y atmosféricas. Junto al vapor de agua  y al dióxido de carbono CO2,  el Oxido Nítrico  es uno de los gases que se encuentran en el medio ambiente. La interacción entre electrones y las moléculas de N2O ha sido estudiada por varios años y el interés en esta molécula se ha mantenido debido a la necesidad de secciones eficaces y de datos espectroscópicos que ayuden a explicar la posible importancia de este gas en varias situaciones atmosféricas [2]. También, debido a la necesidad de entender el mecanismo relevante que ocurre en el láser N2O [3]. Ya que se conoce que se produce un amplio intervalo de fragmentación metaestable debido a la disociación de N2O, [4], [5], esta puede ser una especie muy activa en cualquier situación de descarga. 
Para la parte de aplicaciones, el procesamiento de plasmas en películas delgadas es una técnica importante, que se usa en la industria micro-electrónica.  En muchos casos prácticos, la técnica de plasmas aumenta la deposición, lo cual es  útil para la producción de películas delgadas, incluso, el uso optimo de tales técnicas requieren un buen entendimiento de las propiedades físicas y químicas de la descarga de gas y de los procesos básicos.  El gas N2O fue escogido debido a que constituye la mayor componente de la mezcla N2O/SiH4   usada para depositar películas delgadas de SiO2 [6], [7].

Por razones cinéticas y termodinámicas, temperaturas altas resultan de grandes  concentraciones de NO [8]. La disociación de N2O en las partes atmosféricas altas resultan en la producción de fragmentos de NO.  En la atmósfera libre, el NO es oxidado a óxidos nítricos mayores tales como N2O. En contacto con humedad, el N2O forma ácido nítrico, el cual es nocivo para la salud humana y daña el medio ambiente. Es mas, por exposición a los rayos solares, el oxido nítrico reacciona con componentes orgánicos volátiles gaseosos, mayormente hidrocarburos (HC), y forma smog primaveral, y  también ozono.
 Las técnicas de plasma son propuestas [9] para limpiar los gases de emisión de las plantas de generación eléctrica mediante la quema de carbón, para remover N2O de las máquinas de diesel o para mejorar los valores de emisión que ocurren durante el limpiado y pintado de superficies. Dependiendo de las condiciones y requerimientos en cuestión, una variedad de descargas se han estudiado con respecto a su habilidad para reducir contaminantes tóxicos tales como NOx y SOx o hidrocarburos [10].
Todas las técnicas de plasma tiene en común, proveer electrones, iones negativos y positivos, radicales libres, y otras especies atómicas o moleculares activas en el volumen de gas eficiente, donde una operación bajo presión atmosférica es deseada; sin embargo, su influencia sobre la  caracterización óptica de una descarga eléctrica luminiscente de plasma no ha sido todavía estudiada a  presiones de pocos torr.
En este trabajo, presentamos los resultados de la presente investigación en la caracterización eléctrica y óptica de la descarga luminiscente de un plasma de N2O.

 

 

 



 

CAPITULO I

 

FUNDAMENTO TEÓRICO


1.3    Estados estacionarios

La existencia de los espectros de emisión y de absorción compuestos de frecuencias bien definidas o características fue un problema que intrigó a los físicos de fines del siglo XIX y de principios del XX. Para resolver este problema Niels Bohr (1885-1962) propuso una idea nueva y revolucionaria en 1913. Supongamos que un átomo que está en el estado de energía E absorbe radiación de frecuencia n y, por tanto, pasa a otro estado de energía mayor E´. El cambio en la energía del átomo es E´- E. Por otro lado, la energía absorbida de la radiación en un solo proceso debe ser la de un fotón, h n. La conservación de la energía requiere que ambas cantidades sean iguales. Así

E´-E = hn      o   DE = hn                                                  (1)

Expresión que se conoce como fórmula de Bohr. Del mismo modo, si el átomo pasa de un estado de energía E´ a otro de menor energía E, la frecuencia de la radiación emitida debe estar dada por (1).

El hecho de que sólo ciertas frecuencias, n1, n2, n3, …, son observadas en la absorción y en la emisión de radiación se puede explicar si se supone que la energía del átomo sólo puede tener ciertos valores E1, E2, E3, …, hipótesis que se conoce como cuantización de la energía. Cada valor permitido de la energía se conoce como nivel de energía. Entonces, las únicas frecuencias posibles en la emisión o absorción de radiación son las correspondientes a las transiciones entre los niveles de energía permitidas; esto es,

n = (E´-E)/h       o     DE/h = n                                       (2)

Donde E y E´ son las energías de los dos estados implicados. Por tanto, se puede decir que los espectros atómicos son una prueba indirecta de la cuantización de la energía y de la existencia de niveles de energía. La suposición de Bohr se puede plantear ahora como:

La energía de un sistema ligado de cargas –ya sea de un átomo, una molécula o un núcleo- puede tener sólo ciertos valores E1, E2, …; esto significa que la energía está cuantizada. Los estados correspondientes a tales energías se conocen como estados estacionarios y los valores posibles de la energía, como niveles de energía.




           
Figura 1.1 Transiciones entre estados estacionarios.

La absorción de radiación electromagnética (o de cualquier otro tipo de energía) da como resultado una transición en un átomo, molécula o núcleo, de un estado estacionario a otro de mayor energía; la emisión de radiación electromagnética tiene como resultado el proceso inverso. La frecuencia de la radiación implicada en cualquiera de estos procesos esta dada por la ecuación (2). En la figura 1.1 se muestran algunas transiciones de absorción y emisión de manera esquemática. El proceso en el que un átomo que está en el estado fundamental (representado por A) absorbe un fotón y pasa a un estado excitado (A*), se representa mediante

            A + h n  A*

El proceso inverso, o sea, la emisión de un fotón por un átomo en un estado excitado, se puede expresar mediante

            A* → A + h n

También se puede excitar un átomo a un estado estacionario de energía mayor mediante colisiones inelásticas. Por ejemplo, a algunos electrones rápidos pasan por un gas, muchos átomos de éste son excitados a causa de las colisiones inelásticas, esto es,

            A + h n  A*

Los átomos excitados regresan al estado fundamental con la emisión de un fotón. Este es el principio sobre el cual funcionan las lámparas de mercurio y es también la razón de que una descarga eléctrica en un gas esté acompañada por emisión de luz, como en los relámpagos. Así pues, se puede establecer que

Cuando un sistema ligado de cargas (un átomo, una molécula, un sólido o un núcleo) absorbe o emite energía en forma de fotón, o en otra forma, pasa de un estado estacionario a otro.

La idea de los estados estacionarios plantea una seria dificultad a los estados estacionarios de Maxwell. Cuando un electrón se mueve alrededor de un núcleo en un átomo, su movimiento tiene aceleración tangencial y centrípeta; es decir, su movimiento es acelerado. Por tanto, se podría pensar que el electrón estaría emitiendo energía de manera continua. En consecuencia, la energía del electrón disminuiría continuamente y su órbita se estaría reduciendo, lo que haría imposible la existencia de estados estacionarios. Sin embargo, no se ha observado esta contracción de la materia ni la radiación continua de energía asociada a ella. Como no se cumplen las predicciones  de la electrodinámica formulada por Maxwell, se puede concluir que un electrón (o una partícula cargada) que se mueve en un estado estacionario está gobernado por principios adicionales que aún no se ha tomado en cuenta. Tales principios constituyen la rama de la física conocida como mecánica cuántica.
Figura 1.2 Espectros discreto y continuo de energía de un sistema protón-electrón. El espectro discreto corresponde a los estados estacionarios del átomo de hidrógeno.

 En muchos casos, todos los valores de la energía en cierto intervalo de energías están permitidos y se tiene un espectro continuo de energía. Por ejemplo, si se considera el caso de un electrón y un protón y se toma el cero de energía cuando ambas partículas están en reposo y separadas por una distancia muy grande. Entonces, todos los estados estacionarios discretos tienen energía negativa y corresponden a estados ligados en los que el electrón se mueve alrededor del protón formando un átomo de hidrógeno. La energía de tales estados sólo puede tener ciertos valores EK, EL, EM…, (Fig. 1.2) dados por la ecuación:  

E = -2.177 x 10-18 Z2J/n2  = (-13.598 Z2 / n2 )eV

Por lo que se dice que su energía está cuantizada. Por otro lado, los estados de energía positiva no están ligados y su energía no está cuantizada. Corresponden a la situación en la que un electrón es lanzado desde una distancia muy grande, con cierta energía cinética inicial, contra el protón; el electrón, después de pasar cerca del protón, es desviado de la dirección original de su movimiento y se aleja hasta el infinito sin la formación de un estado ligado, dando como resultado una dispersión. La energía del sistema, en este caso, está determinada por la energía cinética inicial del electrón, la cual se puede escoger arbitrariamente, y por tanto, no esta cuantizada, Es posible que en el proceso el electrón emita un fotón, disminuyendo su energía. Si la energía del fotón no es muy grande, la energía del electrón sigue siendo positiva. Sin embargo, si la energía del fotón no es muy grande, el electrón puede ser capturado en uno de los niveles de energía negativa correspondiente a un átomo de hidrógeno.
Por tanto, las transiciones pueden ocurrir entre dos estados del espectro discreto de energía, como ab y cd en la Fig.1.3  entre un estado del espectro discreto y uno del continuo, como ef, o entre dos estados del espectro continuo, como gh.
Figura 1.3 Efectos de retroceso en la emisión y absorción de la radiación.

Cuando un átomo que se encuentra en el estado excitado E´ (Fig. 1.3(a)) y en reposo en el sistema L emite un fotón de energía hv, esta también tiene un momentum p = hv/c. La conservación del momento requiere que el átomo retroceda con un momento igual a p y, por consiguiente con energía cinética p2/2matomo. De aquí que la emisión se tiene que escribir

E = hv + (energía cinética de retroceso del átomo)

Por otro lado, si un átomo, en su estado fundamental E y en reposo en el sistema L (Fig. 3b) absorbe un fotón de energía hv y momentum p = hv/c, el átomo no sólo es excitado al estado E´, sino que es puesto en movimiento con momentum p. Por tanto, en la absorción se debe escribir

 hv = E + (energía cinética de retroceso del átomo)

Se concluye entonces que la ecuación de Bohr, 1, debe corregirse pues en la emisión, la energía del fotón es menor (y en la absorción es mayor) que la diferencia de energías de los estados estacionarios implicados, en una cantidad igual a la energía de retroceso del sistema.

Lo mismo se aplica a las moléculas y núcleos. En general, la energía de retroceso es despreciable y se puede ignorar en muchos casos, especialmente en las transiciones atómicas y moleculares. Sin embargo, en las transiciones nucleares los efectos de retroceso son relativamente más importantes debido a la mayor energía de los fotones. Una manera de minimizar el efecto de retroceso es introducir el átomo en una red cristalina. La energía de retroceso es entonces p2/2mcristal y, como mcristal es muy grande, la energía de retroceso se hace muy pequeña y se puede ignorar.
Otro factor que afecta a la ecuación (2) es un efecto cuántico llamado ensanchamiento del nivel de energía. Este efecto está relacionado con lo que se conoce como probabilidad de transición de un nivel de energía a otro de menor energía. La consecuencia es que la energía de los estados estacionarios no está definida de manera precisa, sino que se extiende sobre un intervalo  que va de E-e hasta E + e donde e es un muy pequeña en comparación con E, y es del orden de 10-7 eV para niveles de energía atómicos. El resultado es que la frecuencia de la transición entre dos niveles de energía no está bien definida y las líneas espectrales aparecen un poco borrosas en un espectro de alta resolución. Se dice que la línea espectral tiene un ancho natural, que se debe agregar al ensanchamiento Doppler.


1.2 INTERACCIÓN DE LA RADIACIÓN CON LA MATERIA

La interacción de la radiación con la materia es uno de los procesos fundamentales responsables de muchos de los fenómenos que ocurren en el universo. Por ejemplo, la Tierra está sujeta a un flujo continuo de radiación electromagnética proveniente del Sol, que hace que la vida sea posible en la Tierra mediante el proceso de fotosíntesis, que consiste en la formación de nuevos componentes, principalmente carbohidratos, a partir de la síntesis de carbono y  agua como resultado de la absorción de fotones. El compuesto llamado clorofila es de la mayor importancia en esta reacción. El proceso se puede expresar de manera simplificada como:

    6CO2  +  6H2O  +  nhv → C6H12O6 + 6 O2

El número n de fotones implicados no es fijo; su energía se encuentra principalmente en la región visible del espectro. El proceso es mucho más complicado de lo que la ecuación anterior puede sugerir.  La fotosíntesis  es importante no sólo porque produce carbohidratos, que es la principal fuente de alimento (y por tanto de energía) de la mayoría de los organismos vivos, sino porque, al liberar oxigeno, controla la cantidad de este elemento en la atmósfera. El oxígeno, por otro lado, se consume rápidamente en los muchos procesos de oxidación que ocurren en la Tierra, como la combustión y la respiración. La fotosíntesis es sólo un ejemplo de muchas reacciones que se inician con la absorción de los fotones de una cierta energía; el estudio de tales reacciones se conoce como fotoquímica.

Otro proceso debido a la absorción de radiación  es la disociación de una molécula por la absorción de un fotón, proceso conocido como fotodisociación. Esto es,

AB + hv  → A+B

Una de tales reacciones, de gran importancia geofísica y biológica, es la disociación del oxígeno de la atmósfera mediante la absorción de radiación ultravioleta cuya longitud de onda está entre 160nm y 240 nm (es decir, fotones con energía entre 5.2 eV y 7.8 eV).
Se puede expresar este proceso mediante la ecuación.

  O2 + hv → O + O

El oxígeno atómico que se produce se combina con el oxígeno molecular para formar ozono, O3,  que a su vez sufre disociación fotoquímica por la absorción de radiación ultravioleta cuya longitud de onda está entre 240nm y 360 nm (es decir, fotones de energía entre 5.2 eV y 3.4 eV). La reacción es

  O3 + hv → O + O2

Estas dos reacciones sufren radiación ultravioleta tan intensamente que eliminan casi toda la radiación ultravioleta proveniente del Sol antes de que alcance la superficie terrestre. Si la radiación ultravioleta llegara a la superficie, destruiría muchos organismos mediante reacciones fotoquímicas con los componentes celulares, enzimas, etc. Esta es la razón por la cual es muy importante no destruir irreversiblemente la capa de ozono de la parte superior de la atmósfera.
El proceso fotográfico es una reacción fotoquímica. Debido a la acción de la radiación, las moléculas del bromuro de plata se descomponen y los átomos de plata forman la llamada imagen latente sobre una película sensible. En el proceso posterior,  la película es tratada para fijar los iones de plata en ella y así formar una imagen permanente.
Cuando un fotón tiene energía suficiente, su absorción por un átomo o una molécula puede producir la expulsión de un electrón, lo que provoca la ionización del átomo o molécula. Se puede expresar el proceso como

            A + hv →  A+ + e-

Este proceso, conocido como fotoionización, es el equivalente del efecto fotoeléctrico en metales. Por tal razón también se le llama efecto fotoeléctrico atómico.
Como resultado de la fotoionización, cuando un haz de radiación X, ultravioleta o γ pasa a través de la materia, produce ionización a lo largo de su trayectoria. La medición de tal ionización es uno de los métodos para detectar radiación X y γ. La fotoionización se da, por ejemplo, cerca de la maquina de rayos X.
La energía necesaria para extraer un electrón de un átomo o molécula, denotada con I, se conoce como potencia de ionización. Entonces la energía cinética del fotoelectrón está dada por

Ek = hv – I

 (Al escribir esta ecuación, se ha despreciado la energía de retroceso del ión.) Para producir fotoionización, la energía del fotón debe ser igual o mayor que I. El valor de I depende del estado estacionario inicialmente ocupado por los elementos expulsados. Es igual en valor a la energía del enlace del electrón correspondiente al nivel de energía. Por ejemplo, si se va a expulsar un electrón del estado fundamental de un átomo de hidrógeno, la energía mínima del fotón debe ser de 13.6 eV. Pero si el electrón está en el primer estado excitado, sólo se necesitan 3.4 eV.

En la región superior de la atmósfera, conocida como ionosfera, la gran concentración de iones y electrones libres (alrededor de 1011 por m3) se debe principalmente al efecto fotoeléctrico en átomos  y moléculas producido por las radiaciones X y ultravioletas del Sol. Algunas de las reacciones que se dan con más frecuencia son

NO + hv → NO+ + e-    (5.3 eV)

N2 + hv  →N2+ + e-      (7.4 eV)

O2 + hv  → O2+ +e-      (5.1 eV)

He + hv  →  He+ + e-     (24.6eV)

Las energías de ionización se dan en paréntesis. En la atmósfera ocurren muchas otras reacciones secundarias como resultados de tales ionizaciones.

La fotoionización y la fotodisociación tienen algunas aplicaciones biológicas importantes. Por ejemplo, los rayos X y γ se utilizan en el tratamiento del cáncer y para la esterilización de alimentos y bebidas dado que, por la ionización que generan están radiaciones, producen datos en células y microorganismos. En consecuencia, la exposición a fotones de alta energía (más de 5eV o 5.4 X 1016 Hz o longitud de onda menor que λ = 5.5 X 10-7 m) debe evitarse siempre que sea posible.
El proceso inverso a la fotoionización es la captura radiativa. En ella un electrón libre con energía cinética Ek es capturado por un ión y confinado en un estado ligado, y en este proceso se emite un fotón. Esto es 

A+ + e- → A + hv

Si despreciamos los efectos de retroceso, la energía del fotón es hv = Ek + I.

Si la energía de los fotones es lo suficientemente alta, estos pueden interactuar con los núcleos atómicos, dando como resultados reacciones fotonucleares. Por ejemplo, la fotodesintegración del deuterón, que es un sistema compuesto por un neutrón ligado a un protón ocurre según la ecuación hv + d → n + p. Para que el proceso se lleve a cabo, el fotón debe tener una energía de al menos 2.224 MeV, que es la energía de enlace del deuterón.
Entre otros procesos que implican la interacción de la radiación electromagnética con la materia se tiene la dispersión de la radiación electromagnética con la materia; la dispersión (como la dispersión Compton) y la producción de pares que se pueden expresar como hv →e+ + e-

1.3 FISICA DE PLASMAS

Los gases altamente ionizados son buenos conductores de electricidad. Las partículas cargadas de un gas ionizado interaccionan con el campo electromagnético local; además, el movimiento organizado de estos portadores de carga (corrientes, fluctuaciones en la densidad de carga)  pueden producir campos magnéticos y eléctricos. Cuando está sometido a un campo eléctrico estático; un gas ionizado actúa como cualquier otro conductor; los portadores de carga de un gas se redistribuyen rápidamente de tal manera que la mayor parte del gas se blinda o apantalla el campo. A las regiones relativamente libres de campo del gas donde las cargas espaciales positivas y negativas casi se equilibran, Langmuir[1]  les dio el nombre de plasma,  mientras que a los intervalos de carga espacial o alas de campo intenso sobre la frontera del plasma les dio el nombre de vainas.

En forma equivalente se puede decir: un gas ionizado que tiene un número suficientemente grande de partículas cargadas para blindarse a si mismo, electrostáticamente en una distancia pequeña, comparadas con otras longitudes de interés físico, es un plasma. El interés más antiguo en plasmas fue en conexión con la electrónica gaseosa (descargas eléctricas a través de gases, arcos, flamas); el interés más reciente ha sido dirigido hacia problemas de astrofísica teórica, y al problema de refrenamiento de iones en reactores termonucleares (fusión).

El área general de estudio que contiene la interacción de gases ionizados con campos electromagnéticos dependientes del tiempo se llama dinámica de plasmas. Para muchos de los problemas de esta área, y estos son los más importantes e interesantes, es imposible tratar un plasma adecuadamente con formulaciones puramente macroscópicas. En su lugar, es necesario utilizar lo que se conoce comúnmente como teoría cinética. Deben estudiarse los movimientos individuales de iones y electrones; sus colisiones con
Otras partículas deben tomarse en cuenta a través de la ecuación de transporte de Boltzmann. Por tanto, existe una formulación rigurosa para problemas de plasma, pero su resolución es extremadamente difícil en general, excepto para situaciones en que sea permisible despreciar algunos términos de la ecuación de Boltzmann. Sin embargo, hay tres formulaciones aproximadas que proporcionan considerable conocimiento respecto a lo que está sucediendo dentro del plasma. 
El primero de estos métodos es la teoría de equilibrio, que se basa en  la premisa de que las colisiones entre partículas cargadas son suficientes para mantener la conocida distribución de velocidades de Maxwell-Boltzman para partículas en el cuerpo del plasma:

=

Donde N0j es el número de partículas de tipo j por unidad de volumen en el plasma, vx,vy, vz son las componentes de la velocidad, mp es la masa de las partículas de tipo j y T es la temperatura absoluta.Las propiedades cinéticas y de transporte pueden entonces calcularse en función de esta distribución de velocidad.
  El segundo método aproximado es la teoría orbital, que trata el movimiento de las partículas cargadas (iones y electrones) en campos eléctricos y magnéticos prescritos. Estos campos pueden ser funciones tanto de la posición como del tiempo. La teoría orbital es una buena aproximación para el movimiento de partículas en un plasma cuando las colisiones entre las partículas no juegan el papel dominante, esto es, cuando el camino libre medio para colisiones es grande comparado con las dimensiones características de la órbita. En estas condiciones, el efecto de las colisiones puede estudiarse como una perturbación, y el problema principal se centra alrededor de hacer al campo electromagnético “prescrito” autocompatible; en otras palabras, el campo prescrito debe ser la suma del campo externo y del campo producido por las partículas orbitales.

El tercer tratamiento aproximado es la formulación hidromagnética. Aquí se usan las ecuaciones electromagnéticas clásicas (ecuaciones de Maxwell) junto con las ecuaciones clásicas del movimiento de fluidos. Evidentemente, el tratamiento hidromagnético es sólo una descripción macroscópica del plasma; se vuelve una buena aproximación cuando el camino libre medio para colisiones es muy pequeño comparado con las distancias de interés físico en el sistema de plasmas. 
El enfoque riguroso de la teoría cinética a los problemas del plasma está más allá del alcance de este trabajo. Por otra parte, muchas propiedades importantes de plasmas pueden exponerse con las aproximaciones esbozadas antes. Para simplificar, se supondra que el plasma consiste en electrones (carga –e) y iones positivos cargados individualmente (carga +e); pueden estar presentes átomos neutros, pero se despreciaran complicaciones tales como colisiones ionizantes y recombinaciones de electrones y iones.
En la sección, y nuevamente en la sección siguiente, se encontrara un plasma en condiciones estacionarias o de estado estacionario, para el que la teoría de equilibrio es adecuada. Por otra parte, se tratara el movimiento de las partículas individuales, y aquí se aplica la teoría orbital. Finalmente, se trataran algunos aspectos dinámicos del plasma, y se hara esto dentro del marco de referencia hidromagnético.

1.4 Neutralidad eléctrica en un plasma.

Una de las propiedades más importantes de un plasma es su tendencia a permanecer eléctricamente neutro, esto es, su tendencia a equilibrar la carga espacial positiva y negativa en cada elemento de volumen macroscópico. Un ligero desequilibrio en las densidades de carga espacial da origen a fuerzas electrostáticas intensas que actúan, siempre que sea posible, en el sentido de restaurar la neutralidad. Por otra parte, si un plasma se somete deliberadamente a un campo eléctrico externo, las densidades de carga espacial se ajustarán de modo que la mayor parte del plasma se blinde del campo.


Considérese el siguiente ejemplo. Supóngase que una carga esférica +Q se introduce en un plasma, sometiendo en esta forma al plasma a un campo eléctrico. Realmente, la carga +Q se neutralizará gradualmente debido a que le están llegando continuamente partículas cargadas procedentes del plasma, pero si el objeto cargado es físicamente muy pequeño, esto tomará un periodo de tiempo apreciable. Mientras tanto, los electrones sienten que es energéticamente favorable acercarse a la carga, mientras que los iones positivos tienden a alejarse. En condiciones de equilibrio, la probabilidad de encontrar una partícula cargada en una región particular de energía potencial W es proporcional al factor de Boltzmann, exp(-W/kT). Por tanto, la densidad de electrones Ne está dada por

                 (1.1)             

Donde U es el potencial local, Uo es el potencial de referencia (potencial del plasma), T es la temperatura absoluta del plasma y k es la constante de Boltzmann. No es la densidad electrónica en regiones en que U = Uo.

Si No es también la densidad de iones positivos en regiones de potencial Uo, entonces la densidad de iones positivos Nestá dada por

                          (1.2)

El potencial U se obtiene de la solución de la ecuación de Poisson:

= =          (1.3a)

Esta ecuación diferencial es no lineal y, en consecuencia debe integrarse numéricamente. Por otra parte, una solución aproximada a (1.3a), que es rigurosa a altas temperaturas, es adecuada para nuestros propósitos.
Si kT > eU, entonces  senh(eU/kT) ≈(eU/kT), y
           
                          =            (1.3b)

la solución es

                                    (1.4)

Aquí r es la distancia desde la carga esférica +Q, y h, la distancia de blindaje apantallamiento de Debye, que está dada por
           (1.5)

Por tanto la redistribución de electrones e iones en el gas es tal que deje fuera a Q completamente en una distancia de unos cuantos h.
 Un gas ionizado se llama plasma si la longitud de Debye, h, es pequeña comparada con otras dimensiones físicas de interés. Esto no es una gran restricción mientras la ionización del gas sea apreciable; a T = 2000° K, y No = 1018 electrones o iones/m3, la longitud de Debye es 2.2 X 10-6 metros.
























CAPITULO II
SISTEMA EXPERIMENTAL

2.1 DESCRIPCIÓN DEL EXPERIMENTO
La cámara de producción de plasmas consiste de un sistema herméticamente cerrado conteniendo dos electrodos: un ánodo y un cátodo. Además, se tiene una ventana de cuarzo. En la parte superior se cuenta con un termopar para determinar la temperatura en la vecindad de los electrodos (ver figura 2.1). El estudio de estos procesos, abarca tres aspectos:
a)     La presión del gas de trabajo entre 0.5 y 5.0 Torr.
b)     La temperatura del plasma.
c)     El voltaje aplicado a los electrodos usualmente está entre 500 y 3000 Volts.

Un aspecto importante es la caracterización cuidadosa del gas. Para esto se necesita un vacío de 10-7 Torr o mejor, el cual se logra con una bomba mecánica y una turbo-molecular. Después de alcanzar este vacío se aísla el sistema, donde se encuentran los electrodos, por medio de una válvula. Posteriormente se introduce al sistema el gas mediante una válvula de flujo controlado a la presión establecida, la cual es medida con un Baratrón Capacitivo (ver Fig.2.1).


Figura 2.1. Esquema del aparato.

La presión del gas de trabajo es otro factor importante dado que de esta dependen las especies iónicas generadas en la atmósfera del  plasma, las cuales son aceleradas por el potencial aplicado a los electrodos. Se estudiará el efecto de la presión del gas en el plasma de N2O. Para determinar las especies iónicas que se generan en el plasma y conocer el mecanismo de responsables del plasma, se determinaran las intensidades relativas de estas especies iónicas por medio de un espectrómetro.
Como se mencionó anteriormente se realizará un estudio de los efectos producidos por las diferentes condiciones en la atmósfera, esto es, para cada valor de los parámetros: presión, temperatura y voltaje aplicado a los electrodos, se determinará la intensidad relativa de las especies iónicas formadas en el plasma. Para esto se realizarán alrededor de 100 experimentos.

El aparato de plasma pulsado se muestra en la Fig.2.1, este consiste de dos electrodos circulares planos de acero inoxidable, de 3 mm de ancho, 100 mm de diámetro y un espaciamiento de 20 mm y están posicionados en el centro de la cámara de descargas.  El gas fue admitido a la cámara de descargas a través del lado  izquierdo. El mismo lado se  utilizo para la conexión de la bomba de vacío y  el sensor de presión (MKS, Tipo 270). Una ventana de cuarzo fue instalada en el lado derecho y fue usada para monitorear las especies activas generadas en  la descarga luminiscente por el plasma mediante su emisión espectroscópica; esto fue hecho empleando un espectrómetro de alta resolución  Modelo HR2000 equipado con 2400 líneas mm-1, generando una dispersión linear recíproca de 0.45 nm mm-1, manufacturado por Ocean Optics Inc. El espectro (200-425 nm) de la celda de emisión fue conducido por una fibra óptica conectada a un arreglo linear CCD  Sony ILX511. El arreglo linear CCD  Sony ILX511  tiene una respuesta espectral en el rango de 200-425 nm con eficiencia > 30 %. El intervalo de medición es de 0.05 nm. Las rejillas tienen un ancho de 10 mm. Los datos fueron obtenidos en una sola acumulación con un tiempo de integración de 2.5 segundos, lo cual corresponde a 150 veces el periodo del pulso de voltaje. La descarga luminiscente fue concentrada en dirección paralela con respecto al plano de electrodos. El arreglo de lentes y fibras ópticas es movible para poder enfocar diferentes puntos de la descarga del plasma entre los electrodos. El plasma pulsado fue producido en un ambiente de gas N2O en una presión parcial entre 0.5 y 4.0 Torr.  La fuente de voltaje fue mantenida entre 300 y 500 Volts y en un intervalo de corriente de 0.1-0.8 A, el cual fue medido usando un multímetro digital Tektronics modelo DM2510. Un gas ultrapuro (Praxair 99.5%) fue usado en el curso de las mediciones.  Una presión base de 2.7 x 10-7 Torr fue mantenida en  la cámara de descargas usando una bomba mecánica y purgada con el gas de trabajo a una presión de 1.0 Torr. Posteriormente la cámara fue llenada con el gas  de trabajo a la presión de trabajo requerida.






2.2 Sistema de Vacío.
Una cuestión fundamental en los experimentos de descargas de gases atómicos o moleculares es el vacío o presión del gas residual a través del cual se desplazan las partículas en la zona de descarga. La idea básica de contar con un buen sistema de vacío es garantizar que el sistema de descargas mantenga su identidad desde que éste se produce al inicio de la descarga hasta que llega a un equilibrio, en donde se lleva a cabo las interacción del gas que se desea estudiar, y posteriormente, desde que se generan los productos hasta que estos son detectados.     Para lograr esto, es necesario contar con un sistema de vacío que mantenga la presión en el interior del acelerador lo suficientemente baja, como para que el gas residual no afecte a las medidas y los productos producidos en la descarga no se vean contaminados por el gas residual, por lo que se requiere que el gas residual tengan un camino libre medio l mucho mayor a la longitud que hay cuando se esta produciendo la descarga con el gas que se desea analizar. Para determinar la presión de operación se hace uso de la ecuación del camino libre medio del haz
                                                   l = (sh)-1                                                               
Donde h es el número de partículas por unidad de volumen del gas residual y s la sección transversal de colisión del proyectil con dicho gas. Típicamente estas secciones son del orden de 10-16 a 10-15 cm2 y el camino libre medio es del orden de 10 veces mayor a las dimensiones de la cámara cuando la presión del gas residual es de 1.0 x 10-7 Torr. Esta presión es fácilmente alcanzada con el sistema de vacío que se encuentra en el laboratorio. Dicho sistema está compuesto por una bomba mecánica y una bomba turbomolecular.
Antes de que el átomo emita dos o más fotones y regrese al estado base, otro electrón colisiona con el y eventualmente un tercero, y entonces la ionización puede tomar lugar. Este tipo de ionización es llamada ionización de paso. “Es posible solo cuando la densidad del haz de electrones es grande y el átomo tiene estados excitados metaestables cuya vida es mucho mayor que los estados excitados.
Por otro lado, cuando el electrón colisiona con un átomo excitado, el producto de la colisión puede ser un átomo y un electrón de alta  velocidad cuya energía es ahora tan alta para causar ionización por la colisión con otro átomo.
Finalmente, cuando dos átomos excitados colisionan uno contra otro, la energía potencial cambia debido a la ionización de uno de ellos.

Las colisiones que producen la ionización debido al intercambio de energía cinética son llamadas colisiones de primer orden.
Cuando una partícula cede parte de su energía potencial para producir la ionización por colisión, se denomina colisión de segundo orden.
Cuando una molécula o ión es la causa de la ionización o excitación por la colisión con otra partícula en el estado base, su energía cinética antes del impacto debe ser al menos  el doble de ionización o energía de excitación de la otra partícula, teniendo en cuenta que ambas partículas tienen la misma masa,
Por otro lado, un electrón necesita  tener una energía cinética igual a la energía de ionización  o de excitación de la molécula para ionizarla perdiendo toda su energía cinética.

Incluso en tales casos todas las colisiones no resultan en ionización o excitación. La energía intercambiada depende de ciertas probabilidades que usualmente están muy por abajo que la  unidad.

En colisiones de segundo orden los estados excitados metaestables juegan un papel importante, debido a que sus tiempos de vida, del orden de 10-3 a 10-4 segundos, son grandes.

En el análisis de ionización, se emplea una cantidad llamada sección de cruce efectiva total igual a 6N, donde 6 es la área total de una molécula y N es la densidad molecular, o el número de moléculas por unidad de volumen, esto es 3.52 X 1022 moléculas/m3 a T= 0°C  y  P = 1 torr.  Se encuentra que el camino libre medio de la particular, λ, es el reciproco de la sección eficaz total  
                                   σ = 1/6N    (Eq. 2.5)
Por lo tanto, 6N  también representa el número de colisiones por unidad de longitud de trayectoria. Si la partícula bajo N colisiones por unidad de trayectoria, algunas de estas colisiones siendo elásticas, algunas producirán excitación y otras ionización (figura 2.2).

                Figura 2.2. Efectos de las colisiones.



2.2.1 Bomba Mecánica.
Con una bomba mecánica se puede alcanzar una presión del orden de 10-1 a 10-3 Torr, con ello se apoya a una bomba turbomolecular, ya que ésta funciona a partir de un vacío de 10-3 Torr.
El vacío logrado por una bomba mecánica se produce con un rotor inmerso en un aceite especial; al girar atrapa los vapores de una región y los conduce a una salida, la cual se encuentra a presión atmosférica (ver figura 2.3).
Figura 2.3.  Fotografía de una bomba mecánica.

2.2.2 Bomba Turbomolecular.
Su funcionamiento es parecido al de una turbina y utiliza un sistema de enfriamiento por medio de un flujo de agua fría. En el interior se encuentra un rotor que gira a una velocidad de 36,000 rpm, el cual tiene sus extremos montados sobre baleros lubricados por aceite para reducir la fricción. Sobre éste se encuentran distribuidas una serie de aspas, separadas por una serie de discos, los cuales están fijos a la estructura de la bomba y perpendiculares al rotor.    El vacío se logra debido a la diferencia de presiones creada al girar las aspas.        El intervalo en el que operan eficientemente estas bombas va de 10-3 a 10-9 Torr, por lo que, como ya se ha dicho, se necesita el apoyo forzoso de bombas mecánicas.    Una foto de una bomba turbomolecular se muestra en la figura 2.4.

Figura 2.4   Fotografía de una bomba turbomolecular.
2.3  Electrodos
Para el espacio que hay entre los dos electrodos planos de 10 cm. de diámetro con 20 cm de separación, a la presión de 1 torr. Cuando el voltaje entre los electrodos se incrementa muy lentamente, la primera corriente medible será la que proviene de pulsos aleatorios. Pero cuando existen suficientes electrones libres en la separación debido al volumen extremo de ionización, se podrá observar una corriente.
La corriente no se verá afectada al incrementar el voltaje entre los electrodos hasta que el voltaje empiece a alcanzar un cierto punto.
Este incremento es exponencial y es llamado la descarga Townsend. Un mayor incremento en V traerá como resultado un incremento sobre exponencial en la corriente, seguido de un colapso del voltaje a lo largo de la separación, que es llamado el ‘rompimiento’, está acompañado por un incremento  de corriente de varios ordenes de magnitud con un incremento del voltaje casi nulo. Aquí la corriente se vuelve independiente de la fuente de extrema ionización y es entonces autosustentada. Esto esta en contraste con las regiones A, B, y C, donde la corriente se vuelve cero tan pronto como el agente ionizante desaparece. Si la corriente se incrementa más al reducir la resistencia del circuito externo, el voltaje a lo largo de la descarga bajará a un nivel menor. Regiones F y G son llamadas regiones de descarga “subnormales” y “normales” respectivamente. Un incremento exponencial en la corriente resultará en una descarga “anormal”.
La chispa, también referida como la descarga luminiscente, que se desarrolla en un gas a presiones de al menos 100 torr, es ilustrada en la Fig. 2.5 en las varias regiones entre el cátodo, a la izquierda, y el ánodo, a la derecha.
Debido a las distintas características de estas regiones, se les han dado nombres característicos. Empezando en el cátodo, uno puede observar una línea negra llamada “Aston dark space”. Es seguido del cátodo al ánodo por las capas de descarga, la chispa negativa, el espacio oscuro de Faraday, la columna positiva, el espacio oscuro del ánodo, y la chispa del ánodo.

Cuadro de texto: Voltaje (V)
 










Los primeros tres constituyen la región del cátodo y los últimos dos la región del ánodo. Con excepción del Aston dark space, los espacios obscuros no son enteramente no luminosos. Una pequeña cantidad de radiación existe en el intervalo visible, pero debido a que su intensidad es pequeña comparada con las regiones brillosas, el ojo humano percibe estas regiones como relativamente obscuras.
La figura 2.6 ilustra esquemáticamente la variación de la intensidad de la luz emitida del cátodo al ánodo, mostrando que la intensidad de luz en las regiones obscuras no es cero y que varía durante cada intervalo. Es interesante notar que el espacio negro del ánodo es más brillante que la capa de chispa del cátodo, que parece ser luminosa solo debido a que dos intervalos menos luminosas las rodean.




(a)
 




(b)




La chispa negativa es la zona más brillante de la descarga. La Figura 2.6b muestra que el potencial V no varía linealmente con la distancia del cátodo al ánodo debido a la presencia de cargas espaciales de ambas polaridades
La Figura 2.6b ilustra que campos altos existen solo cerca del cátodo. También, la Figura 2.6b despliega la distribución de cargas espaciales negativas y negativas a lo largo del tubo
Las densidades de corriente, j+ y j- , muestran que las corrientes de  iones-positivos prevalecen solo en el intervalo del cátodo, mientras que la corriente de electrones es alta en otros intervalos.

2.3.1 Efectos de la distancia de los electrodos.
Si la distancia entre los electrodos es grande, un voltaje mayor es necesario para mantener la descarga luminiscente. La columna positiva se expande para ocupar el nuevo volumen, y solo se observa un pequeño cambio en las dimensiones de otras regiones.  

2.4 EFECTOS DE LA PRESIÓN EN EL PLASMA
Si la presión en el tubo de la figura 2.6, que contiene gas a 1 torr, es incrementada, entonces la chispa negativa y los dos espacios obscuros que los rodean se contraerán hacia el cátodo, mientras que la columna positiva se extenderá para llenar el espacio.
Cuando la presión alcanza más de 100 Torr, la columna positiva continúa expandiéndose, y la región en la vecindad del cátodo se vuelve tan comprimida que las otras áreas se vuelven indistinguibles una de la otra. Solo la chispa negativa y el espacio oscuro de Faraday pueden reconocerse con óptica magnificada.
Es mas, la columna positiva se ha contraído radicalmente, por lo que no ocupa la sección eficaz total del tubo.
Si la presión dentro del tubo es reducida debajo de 1 torr, lo contrario sucede. Las regiones del cátodo extienden su longitud, a expensas de la columna positiva, y los límites se vuelven más difusos.

Conforme la presión se reduce más, esta tendencia continuará hasta que la columna positiva desaparece enteramente. La descarga luminiscente es generalmente observada a presiones de 100 Torr o menos. Mientras que es posible producir presiones tales como la atmosférica o mayores,  se tendrá que enfriar continuamente el cátodo para prevenir la transición de una chispa en un arco.

2.5 Sistema eléctrico.
Se puede observar de la figura 2.5 que la variación de los parámetros de la fuente de voltaje, el voltaje en el tubo permanecerá constante, mientras que la corriente varía por dos, y en algunos casos por tres ordenes de magnitud.
Si la corriente excede un cierto valor, el voltaje se incrementará. A baja corriente la capa del cátodo se extiende solo a una parte de la superficie del cátodo, si la corriente se reduce más; el voltaje debe aumentarse para mantener la chispa de baja intensidad de luz.
Este tipo de descarga se refiere a la zona subnormal. Si se reduce la serie de resistencias de los circuitos externos la corriente se incrementa, el área de chispa del cátodo se extiende proporcionalmente con la corriente.
Esta tendencia continúa hasta que toda la superficie del cátodo es cubierta por la chispa del cátodo. Entonces, tanto la densidad de corriente y la corriente a lo largo del tubo son casi constantes. Esta región es llamada como la “zona normal”, si aumentamos el voltaje a lo largo del tubo se incrementa mas la corriente, la chispa del cátodo se establecerá en cualquier superficie. Este estado es llamado la “zona anormal”; se requiere mayor voltaje para mantener la corriente, como se indica en la figura 2.5. El brillo de las partes luminosas se incrementa con la corriente en todos estos modos de chispa.




2.5.1. Efectos de la naturaleza del gas
A pesar de que la descripción general anterior de la descarga a presión de 1 torr se aplica al neon las características generales de las descargas no cambian mucho por el tipo del gas. El cambio mas dramático es en el color de las tres zonas brillantes. En el ejemplo anterior, los colores de la capa del cátodo. La chispa negativa, y la columna positiva son amarillas, naranja y rojas, respectivamente. Estos colores son características distintivas de los gases. Cuando el cátodo hace una función de bajo trabajo, el voltaje se necesita reducir para mantener la descarga constante.

2.6 Sistema óptico
Esta zona de la descarga es la que lleva la mayoría del voltaje y es por lo tanto de considerable importancia. Esta limita la superficie del cátodo y el límite brilloso del área de chispa negativa. La distancia entre estos contornos. Dc. Y el voltaje a lo largo del Ve es generalmente llamada como la “caída del cátodo”. El proceso físico que toma lugar en la zona del cátodo es casi independiente de otras regiones. Una descarga de chispa puede existir sin una columna positiva. El espacio oscuro de Faraday o la chispa negativa no podrían existir sin un espacio oscuro de cátodo, sin embargo puede notarse que las chispas que existen no tienen un espacio oscuro de cátodo, esto es  debido a las diferentes condiciones que algunas veces le ocurre al cátodo, cuando una fuente suficiente de electrones rápidos se proveen que no pueden acelerarse al punto donde pueden causar ionización. Esto puede ocurrir en casos donde un cátodo calentado provee emisiones termoiónicas adecuadas, o cuando un cátodo con una capa delgada aislada es usado para permitir la acumulación de iones positivos y la aceleración de los electrones dentro de la capa delgada.
El proceso físico puede describirse como sigue. Los electrones son emitidos por el cátodo por dos mecanismos: el bombardeo de iones positivos y un proceso de radiación incidente. Debido a que su energía inicial es pequeña, los electrones forman una delgada envoltura de cargas espaciales de electrones en donde la corriente es llevada principalmente por los iones positivos moviéndose hacia el cátodo. Conforme los electrones dejan esta envoltura delgada son acelerados en el campo fuerte en una región de carga neta positiva.
Electrones o iones negativos formados en el espacio oscuro de Aston pueden recombinarse fuera de esta región, induciendo una salida de energía ionizante en la forma de fotón y una capa de luminosidad. La capa de chispa del cátodo.
Conforme los electrones ganan energía, los iones negativos pueden sacar sus electrones y entonces reducir la probabilidad de recombinación en la región de campo alto de la chispa negativa.
La aceleración depende de la magnitud y la dirección del campo, que es axial en este caso. Con un cátodo de diferente geometría, tanto el movimiento electrónico como la ganancia de energía serán diferentes y descargas luminosas de propiedades inusuales pueden observarse. Como ejemplo, un cilindro hueco sirviendo como cátodo, llamado cátodo hueco, produce máximos brillantes en la zona de chispa negativa  y es caracterizada por una alta corriente que sus órdenes de magnitud son mayores que las del cátodo plano por la misma caída de cátodo. Chispas de estos cátodos huecos son usadas como fuentes de luz y otras aplicaciones.

2.6.1 Chispa negativa y el espacio oscuro de Faraday
La chispa negativa es la parte más brillante de la descarga luminiscente. Sus propiedades son relacionadas con el espacio oscuro de Faraday.
Los electrones energéticos arriban al final del espacio oscuro del cátodo cuando han ganado su máxima energía debido a su brillantes.  En los contornos de la chispa negativa ocurren colisiones inelásticas y debido a sus altas energías, estas inducen excitación y ionización. Conforme los electrones son desacelerados, tanto la excitación como la ionización decrecen y entonces se reduce la brillantes de la chispa negativa hasta que se absorbe en el espacio oscuro de Faraday. Mientras mayor ionización ocurre por la colisión de electrones, la fotoionización aumenta la extensión de ionización en la chispa negativa.
La casi ausencia de emisión en el espacio oscuro de Faraday es debido a la baja energía de los electrones cuando estos dejan la chispa negativa, entonces estos pocos iones son generados cuando estos emergen de  la chispa negativa. Entonces, el espacio oscuro de Faraday exhibirá generalmente un excesivo espacio de carga negativa. Entonces los electrones, después de haber gastado su energía no podrán adquirir energía en esta región.

2.6.2. La columna positiva
La columna positiva es usada en muchas aplicaciones incluyendo Fuentes de luz, Fuentes de plasma, y antorchas de plasma. Esta representa la parte luminosa de la descarga entre el espacio oscuro del ánodo y el límite del espacio oscuro de Faraday (Fig. 2.5). Su color es característico del gas y varía lentamente con el campo. Parece exhibir una luminosidad estable y uniforme, sin embargo puede contener movimientos rápidos en ambas direcciones. El gas en la columna positiva esta en un estado ionizado con iguales densidades de partículas positivas y negativas. Esta es la condición generalmente referida como plasma. Plasma es un gas ionizado en donde hay igual número de partículas positivas y negativas.












CAPITULO III.   RESULTADOS Y DISCUSIÓN

3.1 CARACTERIZACIÓN  ELECTRICA

Las características eléctricas de la descarga luminiscente del cátodo plano  usado en estos experimentos se muestran en la Fig.3.1.
Figura 3.1. Caracterización eléctrica.

Las curvas en la Fig. 3.1 confirman que el plasma esta operando en el  modo anormal luminiscente, caracterizado por el incremento en el voltaje de operación cuando la corriente se incrementa a una presión dada. Tendencias similares de incremento de voltaje conforme la corriente se incrementa se muestran en la Fig.3.1, lo cual fue observado por Fang y Marcus [12]. Esto es debido al hecho de que conforme la corriente se incrementa, la descarga luminiscente cubrirá eventualmente la superficie entera del cátodo, y en este punto cualquier incremento en la corriente de descarga  resultará en un incremento en la densidad de corriente requiriendo un incremento en el voltaje de descarga.

La  respuesta del voltaje a la variación de presión se muestra también en la Fig.3.1, este comportamiento es atribuido a las altas energías secundarias de los electrones que son necesarias para mantener el plasma a altas presiones, esto es debido a que los procesos de colisión son más eficientes [11].  Claramente, dentro del intervalo de corriente de 0.1 –0.8 A, y a las presiones entre  0.5 y 4.0 Torr, el plasma es operado en el modo anormal de descarga que es requerido para la espectroscopia atómica y por diseños analíticos de  descargas  luminiscentes que generalmente operan en un intervalo de presión de (0.1 – 10 Torr) [13].

3.2 MEDICIONES DE EMISIÓN DE ESPECTRO

Las medidas ópticas de emisiones espectroscópicas fueron obtenidas para un plasma de descarga luminiscente de N2O. Las mediciones típicas a 4.0 Torr y corriente de 0.3 A se presentan en la Fig.3.2, donde se muestra las intensidades de todas las líneas de emisión observadas. Este análisis permitido del área más luminosa que corresponde a la chispa negativa cerca del cátodo del espacio oscuro. Las especies identificadas se reportan en la tabla 1. Sólo las líneas espectrales más intensas de NO, O2, O2+, son reportadas [14]. 


TABLA I:  Las líneas espectrales más intensas observadas en la descarga luminiscente N2O descargas a 4.0 Torr, 392 V y 30 mA
l(nm)
Especies
Transiciones
246.58
O+2(n=5,n=2)
A2P u – X2P g
258.1
O+2(n=5,n=3)
A2P u – X2P g
306.28
O+2(n=2,n=5)
A2P u – X2P g
313.57
O3
1B2-X1A1
315.98
NO(n=2,n=9)
B2P  – X2P
337.55
NO(n=1,n=8)
A2S+  – X2P
349.42
NO+2(n=1,n=7i)
A2Pu – X2Pg
354.20
O2(n=3,n=6)
A3S+u – X3S-g
357.24
NO(n=0,n=10)
B2P  – X2P
370.66
O+2(n=1,n=8)
A2Pu – X2Pg
374.3
O2(n=1,n=17)
B3S-u – X3S-g
380.09
NO(n=0,n=11)
B2P  – X2P
391.42
O2(n=1,n=18)
B3S-u – X3S-g
396.27
NO(n=2,n=13)
B2P  – X2P
398.5
O2(n=6,n=4)
C3SDu – a1Dg
404.4
O2(n=2,n=8)
A3S+u – X3S-g
410.7
O2(n=4,n=1)
C3SD2 – a1Dg

3.3 Caracterización óptica
Figura 3.2 Espectro de emisión del plasma de N2O a 4.0 Torr y 30 mA.

Los picos observados en la región ultravioleta (UV) centrados en 315.98, 337.55 y 357.24 nm corresponden a los picos más intensos de las transiciones NO. El pico intenso observado a 391.42 nm corresponde a la transición O2 con picos de intensidad menor a 354.20, 374.3, 398.5, 404.4, y 410.7nm.  Los picos centrados en 246.58, 258.1, 306.28, 349.42, y 370.66 nm corresponden a las líneas espectrales de O2+. Especies tales como N y O en sus estados base y electrónico metaestable están presentes y juegan un papel importante en la formación de NO, los picos a 315.98, 357.24, 380.09 y 396.27 nm corresponden a la bien conocida banda b,  mientras que el pico a 337.55 nm corresponde a la banda g. Las curvas características de las intensidades de las líneas de emisión como función de la corriente de descarga, a diferentes presiones se muestran en las  Figuras 3.3 a 3.5.
Figura 3.3. Espectro de emisión de las líneas mas intensas provenientes del plasma de N2O a 4.0 Torr,  como función de la corriente de descarga.







Figura 3.4. Espectro de emisión de las líneas mas intensas provenientes del plasma de N2O a 3.0 Torr,  como función de la corriente de descarga.







 Figura 3.5. Espectro de emisión de las líneas mas intensas provenientes del plasma de N2O a 2.0 Torr,  como función de la corriente de descarga.









Figura 3.6. Intensidades de las líneas de emisión mas intensas provenientes del plasma de N2O a 2.0 Torr,  como función de la corriente de descarga.







Figura 3.7. Intensidades de las líneas de emisión más intensas provenientes del plasma de N2O a 20 mA,  como función de la presión del plasma.



Figura 3.8. Intensidades de las líneas de emisión más intensas provenientes del plasma de N2O a 30 MA,  como función de la presión del plasma.

Las líneas de emisión  están en 315.98 nm, 337.55 nm, 357.24 nm,  y  380.09 nm para NO y 354.20 nm y 391.42 nm para O2.  Linealidad de esta dependencia se observa en el intervalo de 0.1 a 0.6 A de corriente de descarga, mientras que la saturación se observa a mayores corrientes. Intensidades mínimas fueron alcanzadas a 0.1 A (región normal de descarga incandescente) de corriente de descarga para todas las seis líneas de emisión. Considerando las condiciones del plasma, puede inferirse que los excitados NO, O2+ y O2 juegan un rol dominante en el proceso de plasma pulsado. La importancia de estos componentes en el proceso del plasma pulsado cambia poco bajo las condiciones del plasma estudiado en este trabajo.

Discusión general
Del gas inicial N2O, los radicales primarios N, NO, O2 son generados durante cada pulso por reacciones de impacto de electrones, y son rápidamente consumidas  por reacciones tales como:
                                    N + NO  → N2O                                                                (1)
           
                                    NO +  O  →  NO2                                                              (2)

Sin embargo, estas son generadas durante el siguiente pulso.  Iones positivos y negativos (N+, N2+, O+, O2+, NO+, O-, O2-, NO- y N2O+)  son también producidos y  nuevamente, estos inician otros procesos, tales como recombinación, transferencia de carga y  conversión iónica. El proceso principal  lleva a la generación de NO(B2P) el cual decae al estado base resultando la emisión de la Banda- b  mediante la reacción de tres cuerpos:

                        N( 4S )+ O( 3P ) + M   NO(B2 P) +  M                                        (3)

Siendo M cualquier molécula de  N2O2, entonces para  generar el estado NO(B2 P), se requiere de los átomos  N( 4S ) y O( 3P ).
La otra línea en 337.55 nm correspondiente al estado  NO(A2S)  que conduce a la banda NOg-. Este estado puede generarse vía la reacción:

                        N2( n  > 12 )+ NO( X2 P ) N2 ( X ) +  NO( A 2S )                        (4)
Esto podría implicar la necesidad de moléculas de nitrógeno excitadas vibracionalmente y el estado base NO para generar el estado NO( A2S ). Entonces para tomar en cuenta la emisión de banda b- NO(B2 P)  y  para la banda NO g -, N( 4S ) , se necesitan O( 3P ), moléculas de nitrógeno excitadas vibracionalemnte,  y el estado base NO .  Las moléculas excitadas de nitrógeno son generadas mediante la colisión del electrón –N2, mientras que la reacción principal que lleva al canal NO(X 2 P ) es

                        N2 + O( 3P)  NO(X 2 P ) + N                                            (5)

En donde el N2 está vibracionalmente excitado. Boris et al [15] concluyeron mediante mediciones y cálculos, que esta es la mayor fuente de las grandes concentraciones del estado base de las moléculas NO. También la reacción:

                                                N + O2  NO + O                                                    (6)

puede llevar al estado base de moléculas NO.
Otro proceso tal como la ionización disociativa y la excitación disociativa puede llevar al estado base las moléculas de NO

                                    e + N2  NO(X 2 P ) + N+ + 2e                                      (7)

                                       e + N2  NO(X2 P ) + N +  e                                       (8)

Otras colisiones que involucran  moléculas N2O, así como reacciones ión-molécula y átomo-molécula pueden ser de relevancia también.
La reacción de impacto de electrón  ( e + N2O   N2+ O( 3P)+  e)           es siete veces mayor que la misma reacción que produce O( 1D) [16]. La abundancia de fragmentos O( 3P) puede resultar en lo siguiente:
  1. La alta concentración  de O2 que se observó en el trabajo que es principalmente producido por la recombinación superficial O( 3P) del (95%) [16].
  2. La producción del estado base NO que se necesita para generar los estados excitados NO(A2 S +) responsables de la emisión de banda g- para 337.55 nm.
  3. La producción de los estados excitados NO(B 2 P) responsables de la emisión  banda b- de acuerdo a la reacción de tres cuerpos (reacción 3). La N( 4S ) necesaria para esta reacción son generadas por la desaparición de los estados metaestables de N por colisiones con átomos y moléculas de acuerdo a la reacción
                       
                                      N( 2D) + O( 3P)   N( 4S) + O( 1D)                                  (9)

Con el O( 1D) siendo consumido en la reducción de O( 3P)  [15]

                                    O( 1D) + N2(X)  O( 3P) + N2 (X)                                      (10)

Malone et al [17], observaron  la presencia de O(5S) ó O(R)  y N(R ), en su trabajo en la excitación de N2O por el impacto de electrones. No se observaron líneas de emisión en el trabajo correspondiente al oxígeno o nitrógeno, indicando que las especies atómicas producidas mediante el plasma pulsado en este trabajo están en su estado base. La razón para no observar ninguna línea de emisión debido al O(5S) en nuestro trabajo es debido a la naturaleza energética del estado O( 5S) que podría resultar en su pérdida en colisiones mucho antes que pueda decaer radiacionalmente.  Las intensidades de las seis principales líneas de emisión (315.98, 337.55, 354.20, 357.24, 380.09, y 391.42 nm) para la descarga de plasma de N2O a 0.2 y 0.3A corrientes de descarga son dibujadas en las figuras 3.6 y 3.7  como función de la presión del plasma. Esta dependencia muestra un máximo en 3.0 Torr, excepto para la línea de 354.20 nm.  Las intensidades de todas las líneas muestran un incremento de aproximadamente 50 % cuando la corriente de descarga se incrementa de 0.2 a 0.3 A.



















4.1  CONCLUSIONES

Se puede resumir lo siguiente de la descarga pulsada de un plasma de N2O:
-        Se presentan la caracterización óptica y eléctrica de la descarga incandescente de un plasma de N2O a presiones entre 0.5 y 4.0 Torr.
-        Las mediciones de  espectroscopia óptica se realizaron en un intervalo de 200-440 nm.
-        Se observo solamente líneas y bandas de emisión dentro del intervalo de 300-400 nm.
-        Las líneas y bandas observadas fueron  315.98, 337.55, 354.20, 357.24, 380.09 y 391.42 nm  que corresponden a a las especies a  NO, O2+ y O2.
-        No se observo líneas de emisión del oxigeno atómico, lo que lleva  a concluir que el oxigeno atómico es producido tanto en el estado O( 5S) que es lo suficientemente energético y puede reaccionar fácilmente, o producido en su estado base O( 3P) ó en el estado metaestable O( 1D) que es eliminado en colisiones con N2 dando como resultando un O( 3P).
-        En adición, una pequeña cantidad de NO2 ha sido claramente identificado en una descarga de chispa de N2O. La concentración de estas ultimas especies es típicamente mayor que el orden de magnitud menor que las de NO.
-        De acuerdo con los resultados, la concentración de N2O y N2 es esencialmente determinada por la disociación del impacto de electrones y el de NO, principalmente por las reacciones de la fase del gas La cantidad de oxigeno molecular es regulado parcialmente por recombinación de átomos de oxigeno y en parte por procesos de fase de gas. La cantidad de NO2 es atribuida principalmente a una reacción heterogénea de muro.  Reacciones homogéneas de especies excitadas vibracionales puede proveer una explicación alternativa para la aparición de NO2.
-        El presente resultado indica la posible presencia de NO2 en descargas de chispa de oxido nítrico. Esto puede ser considerado en el análisis de plasmas más complejos, como los usados en la deposición de componentes de silicio.
-        Las investigaciones experimentales de estos fenómenos son en general complejas y presentan importantes problemas técnicos. Sin embargo hay mucho que puede ganarse  desde un estudio más detallado de procesos gas-fase. En este respecto el monitoreo directo de concentraciones atómicas, el estudio de estados moleculares excitados por emisión espectroscópica, de la investigación  experimental de las especies estables durante el tiempo transcurrido antes de alcanzar la condición del estado estable puede ciertamente generar más información de valor.

           

           












APENDICE A
1 Aspectos básicos del plasma

En general el estado del plasma es el cuarto estado de la materia. Esto se debe a que si tomamos un gas constituido por átomos y moléculas (neutros) y le entregamos suficiente cantidad de energía, los átomos comienzan a ionizarse y aparecen en el gas partículas con carga eléctrica (iones y electrones). Cuando el número de partículas cargadas es suficientemente grande como para que el comportamiento dinámico del sistema quede determinado por fuerzas electromagnéticas  de largo alcance y no por colisiones binarias entre partículas neutras (como en el caso de los gases ideales) se dice que el gas se ha convertido o transformado en un plasma.

A diferencia de lo que ocurre con los otros estados de la materia, no existe una transición de fase entre el gas y el plasma sino que se produce una variación continua, aunque relativamente brusca en el grado de ionización No se puede definir un valor de temperatura constante en el cual el gas se transforma en un plasma.

Otra definición un poco más rigurosa con respecto al plasma podría ser la siguiente: un plasma es un gas cuasineutro de partículas cargadas y neutras que presentan un comportamiento colectivo y en el cual la energía potencial de una partícula típica debida a la interacción con su vecino próximo es mucho menor que su energía cinética.  En esta definición el término comportamiento colectivo, se refiere a que las interacciones electromagnéticas (de largo alcance) determinan las propiedades estadísticas del sistema  mientras que el término cuasineutro significa que desde el punto de vista microscópico el número de cargas de uno y otro signo es aproximadamente igual.

El uso de la palabra plasma para referirse a este estado de la materia se debe a Langmuir y Tonks quienes lo utilizaron en 1929, durante sus estudios de oscilaciones en descargas eléctricas.  En los plasmas de interés, para procesamiento de materiales pueden despreciarse generalmente los efectos cuánticos y relativistas. Debido a que la distancia media entre las partículas del plasma es mucho mayor que la longitud de DeBroglie y a que su velocidad es mucho menor que la velocidad de la luz.


Los plasmas de interés para procesamiento son formados y mantenidos por campos eléctricos alternos y continuos.  En el caso de campos alternos las frecuencias típicas van desde los 100 Khz., en la zona de baja frecuencia, a 13,56 MHz en el rango de rf, y hasta 2,45 GHz en el rango de las microondas [1].  El campo eléctrico acelera los electrones que, debido a su menor masa incrementan su energía cinética más rápidamente que los iones. La transferencia de energía de electrones a partículas pesadas (ión, átomo, molécula) vía colisiones elásticas es muy lenta debido a la gran diferencia de masa.  En consecuencia, a baja presión (baja frecuencia de colisión) los electrones pueden acumular suficiente energía como para producir ionizaciones y excitación en las colisiones con partículas pesadas.  De esta forma es posible generar especies muy reactivas (radicales, átomos libres) que intervienen en reacciones químicas e interactúan con superficies.  Esto explica el creciente uso de los plasmas en gran cantidad de procesos para generar nuevos materiales.

2 El estado del plasma


Una variedad de medios proveedores de nitrógeno se usan en la nitruración. De acuerdo con conocidos estados de la materia, la nitruración puede ser definida como nitruración sólida, nitruración liquida o nitruración gaseosa. Aparte de estos tres estados de la materia hay uno que a veces se describe como el cuarto estado de la materia: El estado de plasma. La nitruración iónica utiliza este estado de plasma, por lo que el proceso también puede ser llamado Nitruración vía Plasma.




APENDICE B


1.5 ORBITAS DE PARTÍCULAS Y MOVIMIENTO DE DESPLAZAMIENTO EN UN PLASMA.

La orbita de una partícula cargada q que se mueve en un campo eléctrico y magnético prescrito puede calcularse directamente por la ecuación de la fuerza:

                                    F = q(E + v x B)                                          (1.6)

Se vera que es conveniente empezar con configuraciones de campo relativamente simples, y luego generalizar a campos que varían lentamente en el espacio.
Un campo eléctrico constante aplicado a un plasma no es particularmente interesante porque el plasma se ajusta desarrollando una delgada vaina de carga espacial que apantalla o blinda del campo al cuerpo principal del plasma. Por otra parte, un campo magnético constante hace que las partículas giren respecto a las líneas de campo sin alterar la distribución de carga espacial.

Caso 1. Campo magnético uniforme. E = 0. Este es el mismo caso que se aplica a muchas otras situaciones además de los plasmas, es decir, es fundamental a la operación de los aceleradores de partículas, tales como el ciclotrón y el betatrón.

 La fuerza de Lorentz es siempre perpendicular a la velocidad, v, de la partícula cargada; en consecuencia, su energía cinética permanece constante:

                        K =  mp v2 /2 = constante,                   (1.7)

Donde mp es la masa de la partícula. Conviene descomponer la velocidad v en dos componentes; vpa, paralela a B, Vpe, en el plano perpendicular a B. Como el campo no influye en vpa, Kpa = mp vpa2 /2  también permanece constante.
Se sigue que

Kpe = mp vpe2 /2 = K - Kpa                   (1.8)

También es una constante de movimiento.
 La fuerza de Lorentz proporciona una aceleración centrípeta. Por tanto,

                        q vpe B = mp vpe2 /R

y R (el radio de la órbita)  está dado por

                                    R= mp vpe /qB                                      (1.9)

El radio R se llama frecuentemente radio de Largor de la partícula. El movimiento completo de la partícula cargada se describe como giro de la partícula en una órbita (la órbita de Largor) superimpuesto en un movimiento uniforme del centro orbital, o centro guía, a lo largo de una línea de campo magnético.

El campo magnético actúa para confinar el plasma curvando las partículas en orbitas circulares. Por supuesto, ningún confinamiento se observa en la dirección del campo. Para iones y electrones de la misma energía cinética Kpe, los electrones giran en órbitas mucho menores, siendo la razón de los dos radios de Largor igual a la raíz cuadrada de las masas.
 Una cantidad interesante que se tendrá la ocasión de utilizar posteriormente es el momento magnético de una partícula que gira. Por definición, el momento magnético m está dado por
                                    M = corriente X área              =  q  πR2vpe /2πR = Kpe /B  (1.0)


Caso 2. Campos uniformes eléctrico y magnético.  E perpendicular a  B.

Si un campo eléctrico y uno magnético se aplican simultáneamente a un plasma, y E es perpendicular a B, entonces no hay tendencia a producir una vaina; de hecho, se vera que la carga espacial positiva y negativa se desplazan juntas en el mismo sentido. Por comodidad, sea la velocidad de la partícula v

                                    V = ud + v´;                 (1.11)

Entonces, la ecuación (1.6) puede escribirse como:

                        F = q(E + ud x B + v´x B)                   (1.12)

Una elección particular de ud hace que los dos primeros términos del segundo miembro de esta ecuación se cancelen:

                         ud = E x B / B2                                   (1.13)

La fuerza restante, qv´x B. es sólo la que se estudia en el caso 1.
  El movimiento total de la partícula está formado entonces por tres términos:
a)     velocidad constante vpa’ paralela a B
b)     giro respecto a las líneas del campo magnético con una frecuencia angular vpe´/R = qB/mp, y
c)     una velocidad de desplazamiento constante ud = E/B perpendicular tanto a E como a B.

La velocidad ud  definida por la ecuación (1.13) se llama velocidad de desplazamiento de plasma o velocidad de desplazamiento eléctrico. Es importante observar que ud no depende de la carga, la masa ni la velocidad de la partícula; por tanto todas las componentes del plasma se desplazan juntas aunque sus giros individuales pueden ser bastantes diferentes.
Nuestra deducción de la ecuación 1.13 se obtuvo en una forma no relativista: si ud o v tienden a c (velocidad de la luz), entonces la ecuación 1.11 debe sustituirse con una expresión compatible con una transformación de Lorente. Por otra parte resulta que la ecuación (1.13) para la velocidad de desplazamiento es siempre correcta mientras |E| < c|B|
Si |E| > c|B|, el campo magnético no puede evitar que la partícula se mueva en el sentido de E.

Caso 3 Campo magnético constante en el tiempo pero dependiendo del espacio.
E=0. Supóngase que una partícula cargada se mueve en un campo magnético casi uniforme, uno en que las líneas de campo converjan lentamente en el espacio.
Para especificar el problema precisamente se supondrá que la línea de flujo que pasa por 

el centro guía coincide con el eje z, y que el campo magnético tiene una simetría 

azimutal.

Respecto al eje z. Considerando z de la ecuación (1.6) se obtiene

r=R             (1.14)

Pero divB = 0, o, para el caso que se esta tratando,


Como las líneas del campo convergen lentamente, puede considerarse constante sobre la sección orbital, dando

       (1.15)

Además vq es análoga a la vt del caso 1. Haciendo estas sustituciones en  la ecuación (1.14)  se tiene

   (1.16)



La energía cinética total K de la partícula no se altera en el campo magnético, puesto que la fuerza de Lorentz, que siempre es perpendicular a la velocidad, no puede hacer trabajo Kper(Kp), definida en (1.8), no es constante aquí; ni tampoco Kpar pero podemos escribir
                                                                                                                                                                                                                       (1.17)                            
viniendo la última forma de la ecuación (1.10). Por otra parte, se puede multiplicar la ecuación (1.16) por vpa= dz/dt   para obtener
           (1.18)
donde d/dt representa la derivada con respecto al tiempo tomada sobre la trayectoria dinámica. Comparando (1.17) con (1.18) se ve que el momento magnético m es una constante del movimiento. Sin embargo deberá resaltarse que éste es un resultado aproximado, válido mientras B, varíe lentamente. Si B cambiara sustancialmente en distancias del orden de R, las aproximaciones usadas en las derivaciones de (1.18) no serían válidas.

También es de interés el hecho de que la partícula esté restringida a moverse sobre la superficie de un tubo de flujo. Esto se sigue porque el flujo magnético que atraviesa la órbita es

                       (1.19)

y m es constante.
  La componente z (componente paralela) de la fuerza, ecuación (1.16) es siempre en tal sentido que acelere las partículas hacia la parte más débil del campo. Las partículas que giran, y que se acercan a intervalos del campo magnético más intenso son, por tanto, retardadas, es decir vpa disminuye. Por otra parte, la conservación de la energía requiere que simultáneamente el movimiento orbital vp se acelere. Si la convergencia del campo magnético es suficiente, la partícula girará en una espiral helicoidal cada vez más cerrada hasta que finalmente se refleje hacia el campo más débil. 


  (1.19)                                                                                                                                   
La componente z (componente paralela) de la fuerza , ecuación (1-16), es siempre en tal sentido que acelere las partículas  hacia la parte más débil del campo. Las partículas que giran, y que se acercan a regiones del campo magnético más intenso son, por tanto, retardadas, es decir vpar disminuye. Por otra parte, la conservación de la energía requiere que simultáneamente el movimiento orbital vper se acelere. Si la convergencia del campo magnético es suficiente, la partícula girará en una espiral helicoidal cada vez más cerrada hasta que finalmente se refleje hacia el campo más débil.                                         




REFERENCIAS

[1.1] I. Langmuir, Physical Review 33, 954 (1929)
[1] Christophorou L.G., and Hunter S R, 1984 Elctron-Molecule Interactions and Their Applications Ed. L.G. Christophorou, New York, Academic, p. 317.
[2] Prin R. G. Et al, J. Geophys.Res.88, 8415 (1983).
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[4] Allcock G. And McConkey J. W., Chem. Phys. 34, 169 (1978)
[5] Barnett S. M., Mason N. J., and Newell W. R., Chem. Phys. 153, 283 (1991).
[6] Smith D.L. and Alimonda A.S., J.Electrochem. Soc. 140, 1496 (1993).
[7] Kushner J.M., J. Appl. Physics. 74, 6538 (1993).
[8] Zeldovich j, Acta Phys. Chim. 21, 577 (1946).
[9] Penetrante B.M. and Scgultheis S. E, Eds. Non-thermal plasma techniques for pollution control Part A: Overview, Fundamentals and Supporting Technologies and Part B: Electron Beam and Electrical  Discharge Processing, Springer, Berlin (1993).
[10] Baeva M, Gier H, Uhlenbrusch, Hschele J, and Steinwandel J, Plasma Sources Sci. Technol. 11, 1-9 (2002).
[11] Marcus R. K., Glow Discharge Spectroscopies, Plenun Press, (1993).
[12] Fang D., and Marcus R. K., Spectrochim. Acta, Part B 43, 1451-1460 (1988).
[13] Davis W.C., Marcus R.K., J. Anal. At. Spectom. 16, 931-937 (2001).
[14] Pearse R.W. E, and Gaydon A.G., The identification of molecular spectra, University Printing House Cambridge (1976).
[15] Boris F, Carlos M. Ferreira, Vasco L. Guerra, Jorge M. A. H. loureiro, Racimar Nahorny, Daniel Pegnon, Michel Touzeau, and Marinett Vialle.,  IEEE Transaction Plasma Science, Vol. 23, NO. 4, 1995.
[16] Date L., Radouane K., Despax B., Yousfi M., Caquineau H., and Hennad A., J. Phys. D : Appl. Phys. 32 1478-1488 (1999).
[17] Malone C., Kedzierski W., and McConkey J. W., J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 33, 4863-4871 (2000).




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